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征途国际pg官方 Transpector® 单压取样 (SPS) 残余气体分析仪为目标高压过程提供上佳半导体晶圆和显示屏面板保护。凭借适合单压应用的敏感空气泄漏和过程污染检测,Transpector SPS 可大程度减少晶圆和面板报废。它具有业内比较早的检测限值和测量速度,确保晶圆和面板产品的质量和数量。Transpector®SPS 残余气体分析仪
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